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공정변수와 후속 열처리가 저압화학증착 다결정 실리콘 박막의 특성에 미치는 영향
Applied Science and Convergence Technology
2002 .12
Pre - deposition과 Layer - by - Layer 방법으로 증착된 다결정 실리콘 박막의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
저온 프로세스에 의한 다결정 실리콘계 박막 제작
한국진공학회 학술발표회초록집
2005 .08
저온 프로세스에 의한 다결정 실리콘계 박막의 제작
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
다결정 실리콘박막의 결정립성장
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .02
Polysilicon 박막 증착을 위한 화학증착공정 중 공정변수에 따른 오염입자발생특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
실리콘 박막 증착을 위한 열필라멘트 화학 기상 증착 공정 중 발생하는 나노입자 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
Two - zone 확산법을 이용한 다결정 실리콘 박막으로의 Phosphorus 도핑에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
이온주입된 다결정박막 실리콘의 열처리 시 reverse annealling에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
내장형 유도결합 플라즈마 소스를 이용한 나노 다결정 실리콘 증착 및 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
열처리 조건과 부도체 박막 변화에 따른 다결정 실리콘 게이트에서의 보론 거동조사
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .07
다결정 실리콘 박막내 불순물 주입영역에 따른 결정화 거동에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
저온 다결정 AlN 박막증착과 물성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 채널 길이에 따른 문턱전압 변화 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
이온주입 된 다결정 실리콘 박막의 Reverse Annealing 거동
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
반구형 LPCVD 다결정 실리콘 박막의 구조 및 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .02
다결정 실리콘 박막을 이용한 쇼트키 장벽 트랜지스터
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
ALD법으로 증착한 SrTiO₃ 박막의 후속 열처리 온도에 따른 물리적 특성 평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
플라즈마 인자가 유기실리콘 박막 증착에 미치는 영향 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
Batch - Type 원자층 증착 방법으로 형성한 실리콘 질화막의 특성
Applied Science and Convergence Technology
2003 .12
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