공정변수와 후속 열처리가 저압화학증착 다결정 실리콘 박막의 특성에 미치는 영향

황완식; 최승진; 이인규

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 황완식 최승진 이인규

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제23회 학술발표회초록집

발행연도: 2002.6

수록면: 96 - 96 (1page)

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