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저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제36회 동계학술대회 초록집
발행연도
2009.2
수록면
162 - 162 (1page)

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2009

이온주입 된 다결정 실리콘 박막의 Reverse Annealing 거동
임정윤 ,  김윤수 ,  노재상 한국진공학회 학술발표회초록집 2009.02 학술대회자료

2008

이온주입된 다결정박막 실리콘의 열처리 시 reverse annealling에 대한 연구
임정윤 ,  김보경 ,  노재상 한국진공학회 학술발표회초록집 2008.02 학술대회자료

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