D - SIMS를 이용한 초박막중의 불순물 분석

이영진; 정칠성

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이영진 정칠성

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제16회 학술발표회논문개요집

발행연도: 1999.2

수록면: 117 - 117 (1page)

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-554-018030557

구분	그룹	데이터 항목
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대량 구매용 데이터	B2B 구독 방식	특정 자료 한정으로 원문 접근 권한 부여
대량 구매용 데이터	URL 전달 방식	바로 PDF 뷰어를 열람할 수 있는 URL 제공

구분	그룹	데이터 항목
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	논문 메타	작성 언어, 부제목, 대등제목, 목차, 키워드, 초록, 이미지, 참고문헌, 이용수, 피인용수, 논문활용도, DBpia통합주제분류, KDC분류, DDC분류, 한국연구재단분류, UCI, DOI
	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

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