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한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제26회 학술발표회초록집
발행연도
2004.2
수록면
180 - 180 (1page)

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2005

글로우방전 질량분석법을 이용한 구리 박막내의 미량불순물 분석 : 음의 기판 바이어스에 의한 불순물원소의 농도변화
임재원 ,  미노루 이츠키 Applied Science and Convergence Technology 2005.03 학술저널

2004

SIMS와 GDMS를 이용한 구리와 탄탈 박막내의 주요불순물 분석
임재원 ,  미노루 이츠키 Applied Science and Convergence Technology 2004.06 학술저널
이차이온 질량분석기를 이용한 탄탈 박막내의 불순물 분석
임재원 ,  배준우 ,  Mino 외 1명 Applied Science and Convergence Technology 2004.03 학술저널
글로우방전 질량분석법을 이용한 구리 박막내의 미량불순물 분석
임재원 ,  배준우 ,  Kouji Mimu 외 3명 한국진공학회 학술발표회초록집 2004.02 학술대회자료

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휘발성 유기화합물의 질량분석을 위한 글로우방전 이온화장치 개발
박현국 ,  누노메 요코 ,  키타가와 쿠니유키 외 1명 한국분석과학회 학술대회 2010 .11

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