SIMS와 GDMS를 이용한 구리와 탄탈 박막내의 주요불순물 분석

임재원; 미노루 이츠키

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자료유형: 학술저널

저자정보: 임재원 미노루 이츠키

저널정보: 한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제13권 제2호

발행연도: 2004.6

수록면: 79 - 85 (7page)

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2005

글로우방전 질량분석법을 이용한 구리 박막내의 미량불순물 분석 : 음의 기판 바이어스에 의한 불순물원소의 농도변화

임재원 , 미노루 이츠키 Applied Science and Convergence Technology 2005.03 학술저널

2004

SIMS와 GDMS를 이용한 구리와 탄탈 박막내의 주요불순물 분석

임재원 , 미노루 이츠키 Applied Science and Convergence Technology 2004.06 학술저널

이차이온 질량분석기를 이용한 탄탈 박막내의 불순물 분석

임재원 , 배준우 , Mino 외 1명 Applied Science and Convergence Technology 2004.03 학술저널

글로우방전 질량분석법을 이용한 구리 박막내의 미량불순물 분석

임재원 , 배준우 , Kouji Mimu 외 3명 한국진공학회 학술발표회초록집 2004.02 학술대회자료

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본 논문은 구리와 탄탈 박막내에 불순물로써 함유되기 쉬운 수소와 탄소, 그리고 산소 원소에 대해 이차이온 질량분석기(secondary ion mass spectrometry)와 글로우방전 질량분석기(glow discharge mass spectrmetry)를 이용하여 분석하였고, 이들의 분석결과에 대해서 고찰하였다. 구리와 탄탈 박막은 실리콘 기판 위에 비질량 분리형 이온빔 증착장비를 이용하여 기판 바이어스를 걸지 않은 경우와 -50 V(구리 박막) 또는 -125 V(탄탈 박막)의 기판 바이어스를 걸은 상태에서 증착하였다. 세슘 이온빔을 이용하여 분석한 SIMS 결과에서, 기판 바이어스를 걸지 않은 경우, 상당히 많은 피크들이 강하게 관찰되었는데 이는 위의 주요불순물들의 결합에 의한 상태로 검출된 것으로 이들 주요불순물들의 조합에 의해 가능한 질량번호를 산출하여 SIMS 결과의 모든 피크들을 해석할 수 있었다. 또한, 박막 내의 주요불순물들의 정량적인 GDMS 분석에 의해 SIMS 결과와의 일치성을 확인할 수 있었다.

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임재원

소속기관 한국진공학회(ASCT)

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 5 이용수 162

미노루 이츠키

소속기관 한국진공학회(ASCT)

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 5 이용수 162

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