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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제14권 제1호
발행연도
2005.3
수록면
17 - 23 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (4)

2005

글로우방전 질량분석법을 이용한 구리 박막내의 미량불순물 분석 : 음의 기판 바이어스에 의한 불순물원소의 농도변화
임재원 ,  미노루 이츠키 Applied Science and Convergence Technology 2005.03 학술저널

2004

SIMS와 GDMS를 이용한 구리와 탄탈 박막내의 주요불순물 분석
임재원 ,  미노루 이츠키 Applied Science and Convergence Technology 2004.06 학술저널
이차이온 질량분석기를 이용한 탄탈 박막내의 불순물 분석
임재원 ,  배준우 ,  Mino 외 1명 Applied Science and Convergence Technology 2004.03 학술저널
글로우방전 질량분석법을 이용한 구리 박막내의 미량불순물 분석
임재원 ,  배준우 ,  Kouji Mimu 외 3명 한국진공학회 학술발표회초록집 2004.02 학술대회자료

초록· 키워드

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본 논문은 글로우방전 질량분석법(Glow Discharge Mass Spectrometry: GDMS)을 이용하여 구리 박막내의 미량불순물의 농도분석과 음의 기판 바이어스에 대한 구리 박막내의 불순물의 농도변화에 대해서 고찰하였다. 구리박막은 실리콘 기판 위에 비질량 분리형 이온빔 증착장비를 이용하여 기판 바이어스를 걸지 않은 경우와 -50V의 기판 바이어서를 걸은 상태에서 증착하였다. 전기를 통하지 않는 분석 샘플의 경우, 직류(DC) GDMS에 의한 분석시, 샘플 표면에서의 charge-up 효과에 의해 분석에 어려움이 있었지만, 본 실험에서는 간편하게 분석이 가능하도록 샘플을 알루미늄 포일(foil)로 감싸서 구리 박막으로부터 실리콘 기판 뒤의 샘플 홀더까지 전기적 접촉이 이루어지도록 하였다. 구리 타겟과 증착된 구리 박막들에 대한 GDMS 분석결과에 의해서, 전체적으로 박막내의 불순물의 양이 음의 기판 바이어스에 의해 줄어듦으로써 구리 박막의 전체 순도를 높일 수 있다는 것을 알게 되었다. 음의 기판 바이어스에 의한 불순물들의 농도변화는 각각의 불순물의 이온화 포텐셜의 차이에 의한 것으로, 박막 증착시 플라즈마내의 Penning ionization effect 와 본 논문에서 제시한 이온화 과정에 의해 각 불순물의 농도 변화가 설명되어질 수 있었다. 또한, 기판 위에서의 구리 이온들의 충격에 의한 cleaning effect도 박막내의 불순물의 농도변화에 기여했다고 판단된다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험 방법

3. 결과 및 고찰

4. 결론

참고문헌

참고문헌 (0)

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