Inductively Coupled Plasma 를 이용한 Ba₁-xSrxTiO₃ 박막의 건식 식각

이헌민 ,  김동천 ,  조월렴 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .02

Halogen - based Inductively Coupled Plasma에서의 Ag 식각 특성에 대한 연구

박상덕 ,  이영준 ,  홍문표 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .02

Particle Coating by Atomic Layer Deposition of Ru and RuO₂

윤재홍 ,  이영학 ,  이재광 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

RuO₂ 박막의 제조와 물성

서동주 ,  이재연 ,  김건호

Applied Science and Convergence Technology

1994 .12

자장강화된 유도결합형 플라즈마를 이용한 산화막 식각에 대한 연구

안경준 ,  김현수 ,  우형철 외 2명

Applied Science and Convergence Technology

1998 .11

Dry etching of Al₂O₃ thin films in inductively coupled plasma system

Seok SON ,  Young Hee JOO ,  Chang Il KIM

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

ICP(Inductively Coupled Plasma)를 이용한 Shallow Trench식각 특성 연구

이주훈 ,  김현수 ,  이주욱 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .06

Inductively Coupled Plasma의 Numerical Simulation

주정훈

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .07

Analysis of chemical reactions of CF₄ and C₄F₈ for inductively coupled plasma based on plasma parameters

J. J. Lee ,  S. J. Kim ,  Y. S. Lee 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Two - dimensional simulation of inductively coupled large - area plasma source

S. E. Pa ,  k ,  J. K. Lee 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .02

Surface Analysis of RuO₂

Cha Yeon Kim ,  Tae Hyeong Kim ,  Jong Wan Lee 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .02

Oxide 및 Nitride 고선택비 식각 공정에서의 CF4(CHF3)/O2/Ar inductively coupled pulsed plasmas

김희주 ,  신예지 ,  김교운 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

Phase Transition and Magnetic Transport Properties for Single Crystal of (Ca_0.42Sr_0.58)₃Ru₂O₇

Qing Ji ,  Ming Fu ,  Jianjian Ge 외 4명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2008 .12

Experimental investigation on plasma density distribution at a wafer-level in an inductively coupled plasma using multiple passive resonant antennas

홍영훈 ,  김주호 ,  이무현 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

Inductively Coupled Plasma 방전의 Global Modelling 과 Simulation

유광일 ,  윤남석 ,  황순모

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .07

Interpretation of current decrease during E - H mode transition in a cylindrical inductively coupled plasma

Jun-Hyeon Moon ,  Ho-Jun Moon ,  Chin-Wook Chung

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .08

건식식각공정물성데이터베이스의 생산전략

유신재 ,  김정형 ,  성대진 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .08

Research on parallelization mechanism of inductively coupled plasma for large area plasma source

이장재 ,  김시준 ,  김광기 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

실리카 도파로(Silica Waveguide) 제작을 위한 Inductively Coupled Plasma에 의한 산화막 식각특성 연구

박상호 ,  권광호 ,  정명영 외 1명

Applied Science and Convergence Technology

1997 .08