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한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제16회 학술발표회논문개요집
발행연도
1999.2
수록면
161 - 161 (1page)

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2019

식각 공정을 위한 C₄F8/O2/Ar및 C₄F8/O2/Kr플라즈마의 특성 연구
김종식 ,  김대철 ,  송재민 외 5명 한국진공학회 학술발표회초록집 2019.08 학술대회자료
반도체 제조용 플라즈마 공정 장비의 지능화를 위한 플라즈마 엔지니어링 데이터베이스 플랫폼 개발 현황
김종식 ,  김대철 ,  송재민 외 6명 한국진공학회 학술발표회초록집 2019.02 학술대회자료

2018

C4F8 가스를 이용한 식각 공정 플라즈마에서 첨가 가스(Ar, Kr)에 따른 플라즈마 특성 연구
김종식 ,  김대철 ,  김용현 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2018.02 학술대회자료

1999

유도결합형 플라즈마 발생기(Inductively Coupled Plasma Source)에서 발생되는 산소 플라즈마의 특성연구
김종식 ,  김곤호 ,  염근영 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 1999.02 학술대회자료

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유도결합형 플라즈마 공정조건 변화에 따른 전자기장 전산모사와 플라즈마 방전 비교
김우재 ,  권희태 ,  신기원 외 3명 한국진공학회 학술발표회초록집 2017 .02
동축 원통형 코로나 방전 플라즈마의 해석적 모델
高旭熙 전기학회논문지 C 2004 .03

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