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유도결합형 산소 플라즈마를 이용한 다공성 폴리머 필름의 식각 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
식각 공정을 위한 C₄F8/O2/Ar및 C₄F8/O2/Kr플라즈마의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
유도결합형 플라즈마 발생기(Inductively Coupled Plasma Source)에서 발생되는 산소 플라즈마의 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
유도 결합형 플라즈마를 이용한 GaN 식각 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
자화 유도 결합 플라즈마의 산화물 건식 식각 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
유도 결합 플라즈마를 이용한 6H - SiC 식각 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
TFT - LCD장치를 위한 multi - layer gate metal 식각 특성에서 유도결합형 플라즈마의 gas chemistry 효과
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .07
이중 주파수를 이용한 유도 결합형 플라즈마의 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
유도결합형 플라즈마 식각 공정시 실리콘 표면의 잔류막 형성과 물리적, 전기적 손상에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .06
유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
자화 유도 결합 플라즈마의 방전 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
자화된 유도결합형 플라즈마 식각공정시 형성된 실리콘표면의 오염 및 손상에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .06
NF3 플라즈마 식각 진단 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
Ar, N₂ 전자빔 플라즈마의 특성 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
자화된 유도결합 플라즈마에서의 SF₆/O₂ 특성 및 Silicon Via에 대한 식각 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
자화된 유도결합형 플라즈마를 이용한 Al - Nd 박막의 식각특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
유도결합 플라즈마에서의 질소 진동온도 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
다양한 공정 주파수에서 유도 결합 플라즈마의 플라즈마 밀도와 에너지 전달 효율 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
준광학 밀리미터파를 이용한 유도결합 플라즈마의 물성 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
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