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자화된 유도결합형 플라즈마를 이용한 Al - Nd 박막의 식각특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
자화된 유도결합 플라즈마에서의 SF₆/O₂ 특성 및 Silicon Via에 대한 식각 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
자화 유도 결합 플라즈마를 이용한 Platinum 식각에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
자화 유도 결합 플라즈마의 산화물 건식 식각 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
자화 유도 결합 플라즈마의 방전 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
자화된 유도결합형 플라즈마 식각공정시 형성된 실리콘표면의 오염 및 손상에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .06
진보된 컨택 식각을 위한 자화 유도 결합 고밀도 플라즈마
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
유도 결합형 플라즈마를 이용한 GaN 식각 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
유도 결합 플라즈마를 이용한 6H - SiC 식각 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
450 ㎜ Wafer 가공을 위한 자화유도결합플라즈마 시뮬레이션 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
BCl₃ 유도결합형 플라즈마를 이용한 사파이어 식각특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
유도결합플라즈마 식각 장비에서 안테나와 웨이퍼간 거리 차에 따른 플라즈마 변화 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
고밀도 유도 결합형 플라즈마를 이용한 Mo 건식 식각 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
자장 인가된 SF6계 유도결합형 플라즈마를 이용한 SiC 식각 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .08
유도결합형 산소 플라즈마를 이용한 다공성 폴리머 필름의 식각 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
건식 식각용 대면적 고밀도 초고주파 유도결합형 플라즈마 소스(VHF - ICP Source) 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
유도 결합형 플라즈마를 이용한 AlGaN 및 InGaN 식각 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
자화 유도 결합 Cl₂ / BCl₃ / O₂, Cl₂ / BCl₃ / N₂ 플라즈마를 이용한 Ⅲ - nitrides 식각특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
SF6 유도결합형 플라즈마를 이용한 6H - SiC와 GaN의 식각 End - point 측정에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
CF₄ 유도결합플라즈마를 이용한 식각 장치의 바이어스 전극에서 측정 된 전기적 특성과 식각률 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
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