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저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제12회 학술발표회논문개요집
발행연도
1997.2
수록면
233 - 233 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (4)

1998

유도결합형 플라즈마를 이용한 백금 박막 식각 특성에 관한 연구
김현수 ,  장제욱 ,  염근영 한국표면공학회 학술발표회 초록집 1998.05 학술대회자료

1997

유도 결합형 플라즈마를 이용한 GaN 식각 특성에 관한 연구
김현수 ,  황순원 ,  염근영 외 3명 한국진공학회 학술발표회초록집 1997.02 학술대회자료

1996

$Cl_2/O_2$ 유도결합형 플라즈마 특성 및 실리콘 식각에의 응용
김현수 ,  이주훈 ,  오경희 외 1명 한국재료학회 학술발표대회 1996.01 학술대회자료

1995

유도결합형 플라즈마 식각 공정시 실리콘 표면의 잔류막 형성과 물리적, 전기적 손상에 관한 연구
김현수 ,  남욱준 ,  김정훈 외 4명 한국진공학회 학술발표회초록집 1995.06 학술대회자료

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