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한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제22회 학술발표회초록집
발행연도
2002.2
수록면
160 - 160 (1page)

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2003

내장형 선형 ICP(Inductively Coupled Plasma) System에서 자장이 플라즈마와 PR 식각특성에 미치는 영향
김경남 ,  이영준 ,  경세진 외 1명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2003.05 학술대회자료
대면적 플라즈마 공정을 위한 자장이 인가된 내장형 선형 유도결합형 플라즈마에 관한 연구
김경남 ,  이영준 ,  염근영 한국진공학회 학술발표회초록집 2003.02 학술대회자료

2002

BCl₃ 유도결합형 플라즈마를 이용한 사파이어 식각특성에 관한 연구
김경남 ,  김동우 ,  정창현 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2002.02 학술대회자료

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대면적 플라즈마 공정을 위한 내장형 선형 안테나을 이용한 유도결합형 플라즈마에 관한 연구
임종혁 ,  김경남 ,  염근영 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2006 .04
Inductively Coupled Plasma를 이용한 SnO 박막의 식각 특성 연구
김수곤 ,  박병옥 ,  이준형 외 2명 한국표면공학회지 2016 .02
DC 스퍼터법과 유도결합 플라즈마 마그네트론 스퍼터법으로 증착된 CrN 코팅막의 물성 비교연구
서대한 ,  전성용 한국표면공학회지 2012 .06
반도체 플라즈마 식각 시스템의 균일도 향상을 위한 CCP와 ICP 결합 임피던스정합 장치
鄭斗溶 ,  南昌佑 ,  李正鎬 외 2명 전력전자학회논문지 2010 .08
수치모델을 이용한 ICP-CVD 장치의 증착 균일도 해석
주정훈 한국표면공학회지 2008 .12

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