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MOCVD Bi₄Ti₃O₁₂ 박막의 실리콘 위에서의 증착기구 및 유기 금속원료의 펄스주입법에 의한 박막 특성 개선
Applied Science and Convergence Technology
2000 .12
Bi 주입량에 따른 MOCVD 법을 이용한 Tellurium 박막 증착
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
MOCVD법에 의한 Ruthenium 박막의 증착 및 특성분석
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
플라즈마 인자가 유기실리콘 박막 증착에 미치는 영향 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
Cobalt 박막의 선택적 증착을 위한 MOCVD공정 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
Plastic film의 투명 보호막 적용을 위한 PECVD법으로 제작된 SiOx 박막연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
In₂O₃ 박막위에 증착된 초박막 Co 촉매가 NO의 감도에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
MOCVD 법을 이용한 ZnO 박막의 제조
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .08
유기금속화학증착법에 의한 Si기판상의 ZnO박막의 성장 및 구조적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
LS - MOCVD 법에 의한 BaTiO3 박막의 성장
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
Batch - Type 원자층 증착 방법으로 형성한 실리콘 질화막의 특성
Applied Science and Convergence Technology
2003 .12
스퍼터링에 의한 금속 나노박막 증착에서 광학적 특성을 이용한 in - situ 박막 두께 측정 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .02
HfO₂ 박막 MOCVD 증착 및 차세대 저항 메모리 특성 분석 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
초고집적회로의 금속연결을 위한 구리박막의 유기금속화학증착법
한국진공학회 학술발표회초록집
1994 .02
스퍼터링 방식에 의해 증착되어진 나노결정 탄소박막의 특성 및 유기박막트랜지스터에 응용
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
실리콘 박막 증착을 위한 열필라멘트 화학 기상 증착 공정 중 발생하는 나노입자 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
유기금속화학증착법에 의하여 실리콘 기판위에 성장된 양질의 GaP 형성기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
PES 기판위에 Sputter 증착된 비정질 실리콘 박막 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
CeO₂(111) / Si(111)위에 성장된 실리콘 박막 특성분석
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
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