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이용수
1. 서론
2. 실험
3. 결과
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유기금속화학증착법에 의한 Si기판상의 ZnO박막의 성장 및 구조적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
MOCVD Bi₄Ti₃O₁₂ 박막의 실리콘 위에서의 증착기구 및 유기금속원료의 펄스주입법에 의한 박막 특성 개선
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
유기금속화학증착법에 의하여 실리콘 기판위에 성장된 양질의 GaP 형성기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
유기금속화합물을 이용한 원자층단위 증착에 의한 금속확산 방지층의 증착특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
MOCVD법에 의한 Ruthenium 박막의 증착 및 특성분석
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
Cu MOCVD에서 구리 박막 성장에 미치는 기판의 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .02
원자층 증착법에 의한 구리 박막 성장에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
유기 금속 화학 증착법에 의한 Si 기판 위에 GaP 층 성장시 에피의 초기 단계의 성장 매개 변수에 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
Platinum 유기착화합물을 이용한 금속박막의 증착에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
유기금속전구체를 이용하여 플라즈마 원자층 증착법으로 증착된 TaN과 TiN 박막의 물성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
Cobalt 박막의 선택적 증착을 위한 MOCVD공정 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
구리 극박막 증착 기술에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
Catalyst-free 유기 금속 화학 증착법을 이용한 InN 나노구조의 성장
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
금속박막 패턴과 InGaN/GaN 전광소자의 표면플라즈몬 효과
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
유기 금속 화학 증착법에 의해서 실리콘 기판위에 성장된 GaAs 단일접합 태양전지
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
catalyst-free 유기금속 화학증착법을 이용한 InN nanorods의 성장
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
초고집적회로를 위한 구리박막의 화학적 형성기술
Applied Science and Convergence Technology
1997 .02
MOCVD 법을 이용한 ZnO 박막의 제조
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .08
Characteristics of polarized emission from single InGaN/GaN quantum wire grown by MOCVD
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
MOCVD Copper 박막의 열처리가 Electromigration 특성에 미치는 영향 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .07
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