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고밀도 유도 결합형 플라즈마를 이용한 Mo 건식 식각 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
건식식각공정물성데이터베이스의 생산전략
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
플라즈마 건식식각 중에 발생하는 충격에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .07
다이아몬드상 카본이 코팅된 실리콘 바늘의 전계 방출
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .02
초미세 바늘 전극의 제작
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
자화 유도 결합 플라즈마의 산화물 건식 식각 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
고밀도 플라즈마 식각 공정시 형성된 실리콘 표면의 오염 및 손상 제거에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .06
SF6와 NF3를 이용한 SiNx의 건식식각특성과 관련된 변수에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
자성 메모리를 위한 나노미터 크기의 자기터널접합 구조의 고밀도 플라즈마 식각
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2005 .12
InGaP/InGaAlP RC-LED 제작을 위한 Al0.95Ga0.05As/Al0.5Ga0.5As 브래그 반사 거울층 건식 식각 조건 최적화
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
O₂/N₂ 플라즈마를 이용한 아크닐의 건식 식각 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .02
건식식각을 이용한 n-GaN 표면의 Cylinderical Trapezoid 형성과 식각깊이 변화에 따른 수직형 발광다이오드 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
전기화학 엣칭방법을 이용한 초미세 바늘 전극 제작
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .06
AlSiCu 건식식각 및 부식방지에 관한 고찰
한국진공학회 학술발표회초록집
1993 .07
고밀도 유도결합형 Cl₂ / BCl₃ / Ar 플라즈마를 이용한 sapphire의 식각 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
멀티 채널방식에 의한 초미세 바늘전극 제작
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .08
공기 플라즈마를 이용한 폴리카보네이트의 RIE 건식 식각
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .02
펄스 플라즈마를 이용한 라디칼 제어에 의한 실리콘 건식 식각시 RIE lag 개선에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
CHF₃ / C₂F6 반응성이온 건식식각에 의해 형성되는 실리콘 표면변형의 회복에 관한 연구 (Ⅱ)
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .02
ECR 플라즈마 식각장치의 고진공 시스템제작 및 반도체 식각특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1991 .07
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