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저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제18회 학술발표회논문개요집
발행연도
2000.2
수록면
31 - 31 (1page)

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2000

고밀도 유도결합형 Cl₂ / BCl₃ / Ar 플라즈마를 이용한 sapphire의 식각 특성
성연준 ,  이용혁 ,  김현수 외 4명 한국진공학회 학술발표회초록집 2000.02 학술대회자료

1999

유도결합형 $Cl_2/BCl_3/Ar$ 플라즈마를 이용한 sapphire wafer의 건식 식각
성연준 ,  이용혁 ,  김현수 외 4명 한국재료학회 학술발표대회 1999.01 학술대회자료

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