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Pulse DC O₂ 플라즈마를 이용한 PMMA와 폴리카보네이트 기판의 건식 식각
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
펄스 플라즈마를 이용한 라디칼 제어에 의한 실리콘 건식 식각시 RIE lag 개선에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
RIE에서 C₃F₆ 가스를 이용한 Si₃N₄ 식각공정 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
고밀도 유도 결합형 플라즈마를 이용한 Mo 건식 식각 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
자화 유도 결합 플라즈마의 산화물 건식 식각 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
SF6플라즈마를 이용한 텅스텐 실리사이드 식각공정에서의 미세 식각형성 특성에 관한 연구
Applied Science and Convergence Technology
1995 .03
O₂/N₂ 플라즈마를 이용한 아크닐의 건식 식각 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .02
RIE 에 의한 Pt 박막의 건식식각 공정에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .06
펄스 직류 전원 BCl₃/He 플라즈마를 이용한 GaAs 건식 식각
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
건식식각공정물성데이터베이스의 생산전략
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
플라즈마 건식식각 중에 발생하는 충격에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .07
평판형 디스플레이 패널 공정을 위한 대면적 건식식각 장치의 플라즈마 소스에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .02
펄스 직류 BCl₃ 플라즈마를 이용한 GaAs와 AlGaAs의 건식식각
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
대기압 플라즈마 소스로 식각한 Wafer 반사율 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
건식식각시 플라즈마의 작용으로 인해 챔버 구성물질로부터 오염된 알루미늄의 제거
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .07
유도 결합 플라즈마를 이용한 6H - SiC 식각 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
텍스쳐 형성 방식에 따른 실리콘 태양전지의 모듈화에 의한 효율 손실에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
ICP-RIE를 이용한 실리콘 식각에 미치는 플루오르계 반응 가스의 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
유도 결합형 플라즈마를 이용한 GaN 식각 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
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