Dose에 따른 gas cluster ion beam 조사에 의한 Si 및 ITO 표면 식각 메카니즘

송재훈; 최덕균; 최원국

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 송재훈 최덕균 최원국

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제22회 학술발표회초록집

발행연도: 2002.2

수록면: 58 - 58 (1page)

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