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한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제22회 학술발표회초록집
발행연도
2002.2
수록면
213 - 213 (1page)

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2002

SiO₂ 식각을 위한 low angle forward reflected neutral beam 식각 system에 관한 연구
정민재 ,  이도행 ,  염근영 한국진공학회 학술발표회초록집 2002.02 학술대회자료

2001

나노소자 식각을 위한 low angle forward reflected neutral beam에서의 reflector 효과
정민재 ,  이도행 ,  배정운 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2001.07 학술대회자료

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C4F8 가스를 이용한 식각 공정 플라즈마에서 첨가 가스(Ar, Kr)에 따른 플라즈마 특성 연구
김종식 ,  김대철 ,  김용현 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2018 .02
SiO2 식각 시 CF4+Ar 혼합비에 따른 플라즈마 내의 화학종 분석
홍광기 ,  양원균 ,  주정훈 한국진공학회 학술발표회초록집 2011 .02
플라즈마 건식식각 중에 발생하는 충격에 관한 연구
윤석훈 ,  김희정 ,  정재룡 외 3명 한국진공학회 학술발표회초록집 1997 .07

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