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이용수
요약
Abstract
1. 서론
2. 이온 에너지 분석기
3. 실험 장치 및 방법
4. 실험 결과 및 분석
5. 결론
감사의 글
참고문헌
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Modeling on discharge characteristics of helicon plasmas
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질소 Helicon Wave Plasma의 진단
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ICP와 헬리콘 플라즈마를 이용한 대면적 고밀도 플라즈마 소스 개발
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On the Possibility of Multiple ICP and Helicon Plasma for Large-area Processes
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1997 .07
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Methanation of CO₂ by low pressure helicon plasma discharge
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2016 .08
Helicon Wave Plasma CVD 방법에 의한 SiOF 박막형성
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1995 .06
헬리콘 플라즈마로부터 중성입자 흐름의 생성 및 이를 이용한 실리콘의 건식식각
Applied Science and Convergence Technology
1998 .11
헬리콘 플라즈마의 연구 현황
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2000 .02
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