헬리콘 플라즈마에서 이온 에너지 분포 및 플라즈마 전위에 관한 연구

김정형; 서상훈; 장홍영

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김정형 서상훈 장홍영

저널정보: 한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제4권 제2호

발행연도: 1995.6

수록면: 201 - 209 (9page)

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고밀도 helicon wave 플라즈마의 특성 및 이온 에너지 분포에 관하여 연구하였다. Helicon wave에 의하여 고밀도의 플라즈마를 형성시키는 helicon mode와 capacitive field가 지배적이어서 electrostatic 방전이 되어 저밀도의 플라즈마를 형성시키는 low mode가 존재하는 것을 관찰하였다. rf modulation된 플라즈마 전위가 이온 에너지 분석기를 통하여 얻어지는 이온 에너지 분포에 미치는 영향을 이론 및 실험적으로 관찰하였다. 이온 에너지 분포의 분석을 통하여 low mode에서는 플라즈마 전위가 rf 주파수로 V_(p-p)의 크기로 modulation되는 것을 확인하였다. Helicon mode에서는 inductive field가 capacitive field보다 우세하기 때문에 플라즈마 전위의 rf modulation은 일어나지 않았다.

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