저온 poly - Si TFT 적용을 위한 비정질 실리콘 박막의 교번자장결정화(AMFC)에 관한 연구

박상진; 임태형; 강구현; 남승의; 김형준

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 박상진 임태형 강구현 남승의 김형준

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제23회 학술발표회초록집

발행연도: 2002.6

수록면: 99 - 99 (1page)

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