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저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제18회 학술발표회논문개요집
발행연도
2000.2
수록면
195 - 195 (1page)

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2000

자장 강화된 유도결합형 플라즈마를 이용한 TFT - LCD용 Al - Nd 박막의 식각 특성 개선에 관한 연구
한혜리 ,  이영준 ,  오경희 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2000.02 학술대회자료

1999

자화된 유도결합형 플라즈마를 이용한 Al - Nd 박막의 식각특성에 관한 연구
한혜리 ,  이영준 ,  오경희 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 1999.07 학술대회자료
TFT-LCD용 Al-Nd 박막의 건식식각특성 개선에 관한 연구
한혜리 ,  이영준 ,  오경희 외 2명 한국재료학회 학술발표대회 1999.01 학술대회자료

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