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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2008.3
- 수록면
- 130 - 137 (8page)
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La<SUB>0.7</SUB>Sr<SUB>0.3</SUB>MnO₃ 박막을 rf 마그네트론 스퍼터를 이용하여 챔버 내 산소가스유량비를 0, 40, 80 sccm 으로 조절하고 후열처리 공정 없이 기판온도를 350℃로 유지하면서 SiO₂/Si(100) 및 Si(100) 기판에 증착하였다. 증착된 La<SUB>0.7</SUB>Sr<SUB>0.3</SUB>MnO₃ 박막은 SiO₂/Si(100), Si(100) 기판 모두 (100), (110), (200)면을 갖는 polycrystalline 상태였으며, oxygen flow rate이 증가함에 따라 박막의 grain size가 증가하였다. 증가되는 grain size로 인하여 grain boundary가 감소하였고 따라서 높은 oxygen flow rate에서 증착된 박막은 면저항이 감소하는 현상을 나타내었다. SiO₂/Si 기판과 Si 기판에 증착된 LSMO 박막의 TCR 값은 약 -2.0 ~ -2.2%를 나타내었다.
목차
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험
Ⅲ. 결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
감사의 글
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