Selective Etching of Magnetic Layer Using CO/NH₃ in an ICP Etching System

J. Y. Pa ,  k ,  S.-K Kang 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

Etching Time Dependence of Off-Diagonal Magnetoimpedance in Co-Based Amorphous Ribbon

Lan Jin ,  N.A. Buznikov ,  S.S. Yoon 외 2명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2007 .05

Study on etching-shape of ZnO Film by wet-chemical etching

Dong Geun Yoo ,  Myoung Hwa Kim ,  Seong Hun Jeong 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .08

Magnetic Properties of Co-Pt Thin Films by Using a Wet Etching Process

Chang-Hyoung Lee ,  Geun-Hee Jeong ,  Jung-Kab Pa 외 5명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2008 .06

Satistical Analysis of SiO₂ Contact Hole Etching in a Magnetically Enhanced Reactive Ion Etching Reactor

Chunli Liu ,  B. Sh ,  aune

Journal of Magnetics

2010 .09

Plasma Dry Etching 방법에 의한 Wafer Backside Etch 특성 평가

한영기 ,  서영수 ,  유재하 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

Etch Characteristics of FePt Magnetic Thin Films Using Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etching

Eun Ho Kim ,  Yu Bin Xiao ,  Hwa Won Lee 외 1명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2010 .12

ETCHING CHARACTERISTICS OF MAGNETIC THIN FILMS BY ION BEAM TECHNIQUE

H. C. Lee ,  S. D. Kim ,  S. H. Lim 외 3명

한국자기학회지

1995 .10

원자층 식각기술

염근영

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

Magnetic Properties and Hysteresis Loss Improvement of Fe Alloy Powder by NH₄OH Etching

Sunwoo Lee ,  Sungjoon Choi ,  Jae-Hyoung You 외 1명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2017 .05

Etching Characteristics of Au Film using Capacitively Coupled CF4/Ar Plasma

Kim ,  Gwang-Beom ,  Hong 외 1명

동굴

2007 .01

C₃F₆O 가스를 이용한 SiO₂에 대한 식각 특성 분석

김선웅 ,  양경채 ,  이호석 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

Capacitively Coupled Plasma Source를 이용한 Etcher의 상부 전극 온도 변화에 따른 Etch 특성 변화 개선

신한수 ,  노용한 ,  이내응

Applied Science and Convergence Technology

2011 .09

RIE Damage Remove Etching Process for Solar Cell Surface Texturing Using the TMAH Etching

오정화 ,  공대영 ,  조준환 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Applications of fluid based plasma simulation : dry etch

주정훈

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

반도체 etching source의 기술 및 연구 동향

장홍영

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .07

플라즈마 식각 공정에서의 미세구조 식각에 관한 이론적 연구

이창덕 ,  박상규

Applied Science and Convergence Technology

1994 .03

Effects of Etch Parameters on Etching of CoFeB Thin Films in CH₄/O₂/Ar Mix

Tea Young Lee ,  Il Hoon Lee ,  Chee Won Chung

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Defects Evaluation of Blue Light Emitting Materials by Wet Etching and Transmission Electron Microscopy

Soon-Ku Hong ,  Bong-Jin Kim

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02