Thermal CVD 반응기 내부의 열 유동장에 대한 수치해석적 연구

김윤호 ,  이영석 ,  리광훈

대한기계학회 춘추학술대회

2004 .08

CVD 반응로 내부 회전 원판 주위의 유동 특성 연구 ( A Study on the Flow Characteristics over the Rotating Susceptor in CVD Reactor )

차관 ,  김윤제 ,  부진효

대한기계학회 춘추학술대회

2001 .01

CVD 반응기내 기체유동의 균일성 향상에 관한 수치적 연구

김유재 ,  김윤제

대한기계학회 춘추학술대회

2004 .08

Measuring the thermal conductivity of CVD-grown graphene disk using scanning spreading thermal microscope

황광석 ,  정재훈 ,  김경태 외 5명

대한기계학회 춘추학술대회

2012 .05

CVD 기술동향

송주호

전자공학회지

2001 .08

thermal-CVD를 이용해 제조한 산화주석막의 열처리

류득배 ,  이수완 ,  박정일 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1999 .10

CVD 다이아몬드 박막 기판의 방열 특성

임종환 ,  강찬형

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .11

DEPOSITION OF A-SIC : H FILMS ON AN UNHEATED SI SUBSTRATE BY LOW FREQUENCY (50㎐) PLASMA Cvd

M. Shimozuma ,  K. Iba ,  agi 외 5명

한국표면공학회지

1996 .12

여름철 열적 반응 평가용 열환경챔버의 제어 특성

김명호 ,  배귀남 ,  김영일 외 1명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

1999 .11

Measurement of thermal contact resistance between CVD-grown graphene and SiO2 by null point scanning thermal microscopy

정재훈 ,  권오명

대한기계학회 춘추학술대회

2012 .05

유입.유출구 크기 변화에 따른 CNT용 CVD 장비 내의 열 및 유동해석

하다솜 ,  장영운 ,  김종석 외 2명

반도체디스플레이기술학회지

2011 .01

3실 분리형 광 CVD장치에 의하여 제작된 무첨가 비정질 실리콘 박막의 기판온도 의존성 ( Dependence of characteristics of undoped a-Si : H film prepared by 3 separated reaction chamber photo-CVD apparatus on substrate temperature )

장재훈 ,  임굉수

대한전자공학회 학술대회

1994 .11

CVD 그래핀과 폴리머 기판 사이의 점착 및 마찰 특성

김광섭 ,  김찬 ,  조경민 외 3명

대한기계학회 춘추학술대회

2013 .12

열진공 시험 결과를 활용한 해석적 열해석 기법과 수치 열해석 방법의 비교

이장준 ,  김희경 ,  현범석 외 1명

한국항공우주학회 학술발표회 초록집

2008 .11

수평 및 수직형 CVD 증착로의 실리콘 부착에 관한 수치해석 ( Numerical Analysis of Silicon Deposition in Horizontal & Vertical CVD Reactor )

김인 ,  백병준

대한기계학회 논문집 B권

2002 .03

Long Multi-walled Carbon Nanotubes Grown by Water-assisted Thermal Chemical Vapor Deposition

Hong Jun Jeon ,  Young Rae Kim ,  Nae Sung Lee

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

3실 분리형 광 CVD 장치에 의하여 제작된 무첨가 비정질 실리콘 박막의 기판온도 의존성

장재훈 ,  임광수

대한전자공학회 학술대회

1994 .11

Laser Crystallization of a-Si:H films prepared at Ultra Low Temperature( $ < 150^{\circ}C$) by Catalytic CVD

Lee ,  Sung-Hyun ,  Hong 외 20명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2005 .01

CVD 방식 그래핀 코팅의 구조적 특성과 물성

올릭세이 펜코브 ,  김현준 ,  김대은

한국트라이볼로지학회 학술대회

2013 .04