Thermal CVD 반응로 내부의 성장 온도 변화에 따른 기판 주위에서의 열ㆍ유동장에 대한 수치해석적 연구

김윤호 ,  이영석 ,  리광훈

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2004 .06

CVD 반응기내 기체유동의 균일성 향상에 관한 수치적 연구

김유재 ,  김윤제

대한기계학회 춘추학술대회

2004 .08

수평 및 수직형 CVD 증착로의 실리콘 부착에 관한 수치해석 ( Numerical Analysis of Silicon Deposition in Horizontal & Vertical CVD Reactor )

김인 ,  백병준

대한기계학회 논문집 B권

2002 .03

Numerical Study on Silicon CVD in Horizontal Reactors

U. Na ,  usawa

International Symposium on Transport Phenomena in Thermal Engineering

1993 .05

CVD 반응로 내부 회전 원판 주위의 유동 특성 연구 ( A Study on the Flow Characteristics over the Rotating Susceptor in CVD Reactor )

차관 ,  김윤제 ,  부진효

대한기계학회 춘추학술대회

2001 .01

CVD 기술동향

송주호

전자공학회지

2001 .08

thermal-CVD를 이용해 제조한 산화주석막의 열처리

류득배 ,  이수완 ,  박정일 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1999 .10

DEPOSITION OF A-SIC : H FILMS ON AN UNHEATED SI SUBSTRATE BY LOW FREQUENCY (50㎐) PLASMA Cvd

M. Shimozuma ,  K. Iba ,  agi 외 5명

한국표면공학회지

1996 .12

대구경 회전 증착에 관한 CVD 반응기 내부의 열물질 해석연구

이성봉 ,  장혁 ,  김광선 외 1명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2000 .06

Measuring the thermal conductivity of CVD-grown graphene disk using scanning spreading thermal microscope

황광석 ,  정재훈 ,  김경태 외 5명

대한기계학회 춘추학술대회

2012 .05

플라즈마 반응로 열 유동의 수치해석 연구 ( A Numerical Study on Thermal Fluid Flow in a Plasma Reactor )

김관엽 ,  박현서 ,  지용해

대한기계학회 춘추학술대회

1996 .01

열진공 시험 결과를 활용한 해석적 열해석 기법과 수치 열해석 방법의 비교

이장준 ,  김희경 ,  현범석 외 1명

한국항공우주학회 학술발표회 초록집

2008 .11

회전원판형 CVD 장치의 최적운전 조건에 대한 수치 연구

이중호 ,  곽호상

한국전산유체공학회 학술대회논문집

2012 .05

Heat and Mass Transfer in Continuous CVD Reactors

Wilson K. S. Chiu ,  Yogesh Jalu ,  ia

Heat Transfer Conference

1998 .08

유입.유출구 크기 변화에 따른 CNT용 CVD 장비 내의 열 및 유동해석

하다솜 ,  장영운 ,  김종석 외 2명

반도체디스플레이기술학회지

2011 .01

Measurement of thermal contact resistance between CVD-grown graphene and SiO2 by null point scanning thermal microscopy

정재훈 ,  권오명

대한기계학회 춘추학술대회

2012 .05

Laser Crystallization of a-Si:H films prepared at Ultra Low Temperature( $ < 150^{\circ}C$) by Catalytic CVD

Lee ,  Sung-Hyun ,  Hong 외 20명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2005 .01

THERMAL PROPERTIES OF SIC/C FUNCTIONALLY GRADIENT MATERIALS BY CVD

Yootaek Kim ,  Keun Ho Auh

한국표면공학회지

1996 .10

위성 열구조 모델의 열평형 시험과 열해석 (Ⅱ)

김희경 ,  이장준 ,  현범석

한국항공우주학회 학술발표회 초록집

2009 .04