Thermal CVD 반응기 내부의 열 유동장에 대한 수치해석적 연구

김윤호 ,  이영석 ,  리광훈

대한기계학회 춘추학술대회

2004 .08

Numerical Study on Silicon CVD in Horizontal Reactors

U. Na ,  usawa

International Symposium on Transport Phenomena in Thermal Engineering

1993 .05

CVD 기술동향

송주호

전자공학회지

2001 .08

DEPOSITION OF A-SIC : H FILMS ON AN UNHEATED SI SUBSTRATE BY LOW FREQUENCY (50㎐) PLASMA Cvd

M. Shimozuma ,  K. Iba ,  agi 외 5명

한국표면공학회지

1996 .12

수평 및 수직형 CVD 증착로의 실리콘 부착에 관한 수치해석 ( Numerical Analysis of Silicon Deposition in Horizontal & Vertical CVD Reactor )

김인 ,  백병준

대한기계학회 논문집 B권

2002 .03

HDP CVD 챔버 형상 변화에 따른 가스 유동 균일성에 대한 연구

장경민 ,  김진태 ,  홍순일 외 1명

반도체디스플레이기술학회지

2010 .01

CVD 반응로 내부 회전 원판 주위의 유동 특성 연구 ( A Study on the Flow Characteristics over the Rotating Susceptor in CVD Reactor )

차관 ,  김윤제 ,  부진효

대한기계학회 춘추학술대회

2001 .01

회전원판형 CVD 장치의 최적운전 조건에 대한 수치 연구

이중호 ,  곽호상

한국전산유체공학회 학술대회논문집

2012 .05

Heat and Mass Transfer in Continuous CVD Reactors

Wilson K. S. Chiu ,  Yogesh Jalu ,  ia

Heat Transfer Conference

1998 .08

Laser Crystallization of a-Si:H films prepared at Ultra Low Temperature( $ < 150^{\circ}C$) by Catalytic CVD

Lee ,  Sung-Hyun ,  Hong 외 20명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2005 .01

Thermal CVD 반응로 내부의 성장 온도 변화에 따른 기판 주위에서의 열ㆍ유동장에 대한 수치해석적 연구

김윤호 ,  이영석 ,  리광훈

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2004 .06

증착 균일도를 고려한 회전형 CVD 장치의 최적 운전조건 탐색

이중호 ,  곽호상 ,  김동주

한국전산유체공학회 학술대회논문집

2012 .11

Si 선택적 성장을 위한 대형 CVD 반응기 내의 열 및 유동해석

장연호 ,  고동국 ,  임익태

반도체디스플레이기술학회지

2016 .01

새로운 CVD 방법에 의하여 제작된 실리콘 박막의 특성 연구 ( Characterization of Silicon Thin Films Prepared by New CVD Technique )

김성철 ,  이승규 ,  정창영 외 5명

대한전자공학회 학술대회

1989 .07

수면호흡장애 환자의 인공지능 기반 심혈관질환 예측 모델

박종욱 ,  류지승 ,  강승영 외 3명

대한전자공학회 학술대회

2020 .08

수직 원통형 CVD 반응로에서 박막의 균일성과 증착률 최적화에 대한 수치해석적 연구

김종희 ,  김홍제 ,  오성모 외 2명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2002 .08

초음파를 이용한 CVD 다이아몬드 평가기법

김훈희 ,  송성진 ,  김학준

대한기계학회 춘추학술대회

2011 .05

CVD 방식 그래핀 코팅의 구조적 특성과 물성

올릭세이 펜코브 ,  김현준 ,  김대은

한국트라이볼로지학회 학술대회

2013 .04