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대한전자공학회 전자공학회논문지-SD 電子工學會論文誌 SD編 第44卷 第5號
발행연도
2007.5
수록면
15 - 20 (6page)

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펄스 레이저 증착법을 이용하여 ZnO 박막을 quartz 기판 위에 증착하였으며, 기판 온도에 따른 박막의 구조적 및 광학적 특성을 조사하였다. 기판 온도 변화에 관계없이 모든 박막이 (002) 방향으로 성장하였으며, 400 ℃ 에서 반가폭은 0.24° 로 가장 우수한 결정성을 갖는 박막이 제작되었다. 또, 박막의 발광 특성을 조사한 결과, 모든 박막에서 UV 발광 피크와 deep-level 발광 피크가 관찰되었으며, 기판 온도에 따른 발광 피크의 변화가 관찰되었다. 가장 우수한 UV 발광 특성은 400 ℃ 에서 관찰되었으며, 반가폭은 14 ㎚ 였다. 기판 온도에 무관하게 가시광 영역에서 약 85 % 정도의 투과도를 나타내었다. 투과도 측정을 통하여 얻은 광학 밴드갭 에너지와 UV 발광 중심 값을 비교한 결과, 두가지 결과 값들이 서로 유사한 값을 나타냈다. 이로부터 UV 발광 중심 값이 ZnO 의 near band edge emission 을 나타낸다는 사실을 알 수 있었다.
#ZnO Thin Film #PLD #Photoluminescence #Transmittance #Energy band gap

목차

요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험 방법
Ⅲ. 결과 및 토의
Ⅳ. 결론
참고문헌
저자소개

참고문헌 (19)

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1. [학술지(정기간행물)] - / / Effect of Different Dopant Elements on the Properties of ZnO Thin Films google schola 2. [학술지(정기간행물)] - / / Al Thin Films Prepared by Sol-Gel Dip-Coating google schola 3. [학술지(정기간행물)] - / / Annealing Effect on the Property of Ultraviolet and Green Emissions of ZnO Thin Films google schola 4. [학술지(정기간행물)] - / / Optical Pumped Ultraviolet Lasing from ZnO google schola 5. [학술지(정기간행물)] - / / Electrical and Optical Properties of ZnO Transparent Conducting Films by the Sol-Gel Method google schola

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