메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
대한전자공학회 전자공학회논문지-SD 電子工學會論文誌 SD編 第46卷 第7號
발행연도
2009.7
수록면
7 - 14 (8page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

초록· 키워드

오류제보하기
본 연구에서는 어닐링조건이 ZnO 박막의 결정구조((002) 세기, FWHM, d-간격, grain 크기, (002) 피크 위치), 광학 (UV 피크, UV 피크 위치) 및 전기적 성질 (전자농도, 비저항, mobility)에 미치는 영향을 조사하였다. ZnO 박막은 RF 마그네트론 스퍼터링으로 ZnO 타겟을 사용하여 SiO₂/Si 기판 상에 증착하였다. 증착도중 기판에 열을 가하지 않았고 ZnO 박막은 500℃~650℃의 온도범위와 5분～20분의 시간범위에서 어닐링 되었다. 샘플의 표면 거칠기 및 구조는 각각 SEM과 XRD로 분석하였다. 광학 성질은 He-Cd 325 ㎚ 레이저를 사용하여 상온에서 측정된 photoluminescence (PL)로 평가 하였다. 어닐링 온도 및 시간 변화에 따라 다음과 같은 관계가 관찰되었다: (1) UV intensity, (002) intensity, grain size 사이에 비례관계가 성립하고, (2)UV intensity는 FWHM와 반비례하고, (3) UV intensity는 전자농도와 큰 상관관계가 없고, (4) d-spacing과 (002) peak position은 반비례 관계에 있고, (5) 3.20～3.24 eV 범위의 UV peak position은 ZnO 박막이 n-type 특성을 가진다는 것을 의미하며 이는 전기적인 특성의 결과와 일치하고, (6) 최고의 광학 및 구조적 특성을 갖기 위한 최적조건은 0.2의 산소분압(O₂/(O₂+Ar)), 240W의 PF 파워, 상온의 기판온도, 600℃온도를 20분 유지하는 어닐링 조건, 그리고 20 mTorr의 스퍼터링 압력 등을 들 수 있다.
#undoped ZnO films #structural #optical #and electrical properties #RF magnetron sputtering #O₂ annealing effect

목차

요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험
Ⅲ. 결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
참고문헌
저자소개

참고문헌 (14)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - S. J. Pearton / 2005 / / Prog in Materials Science. 50 : 293 ~ 293 google schola 2. [학술지(정기간행물)] - S. B. Zhang / 2001 / / Phys Rev B. 63 : 075205 ~ google schola 3. [학술지(정기간행물)] - F. Oba / 2001 / / J. Appl. Phys. 90 : 824 ~ google schola 4. [학술지(정기간행물)] - Anderson Janotti / 2005 / / Appl. Phys. Lett. 87 : 122102 ~ google schola 5. [학술지(정기간행물)] - D. J. Chadi / 1999 / / Phys. Rev. B. 59 : 15181 ~ google schola

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

RF 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 Al이 도핑 된 ZnO (AZO) 박막의 특성에 대한 연구
윤의중 ,  정명희 ,  박노경 전자공학회논문지-SD 2010 .07
저온 photoluminescence 스펙트럼 및 형광체 합성에 관한 연구
김수용 조명·전기설비학회논문지 2010 .04
PLD 법으로 성장한 undoped ZnO 박막의 성장온도에 따른 광학적 특성
김기휘 ,  임재현 ,  송용원 외 1명 대한전기학회 학술대회 논문집 2008 .07
R.F Sputtering으로 제조한 ZnO박막의 미세구조와 광학적 특성에 미치는 잔류응력의 영향
류상 ,  김영만 한국표면공학회지 2005 .08
Sol-gel 법으로 제작된 ZnO 박막의 결정화 및 PL 특성에 관한 연구
최병균 ,  장동훈 ,  강성준 외 1명 전자공학회논문지-SD 2006 .02

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-569-018559863