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In this work, we present the comparison between d<SUB>31</SUB> and d<SUB>33</SUB> mode characterization using the PZT micro-actuator for large displacement. The PZT micro-actuator consisted of Si, PZT, and Pt layer on SOI wafer. The electrode shapes were laminated and interdigitated for d<SUB>31</SUB> and d<SUB>33</SUB> mode, respectively. In order to ch ... 전체 초록 보기

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. PZT 엑추에이터 설계 및 제작
3. 실험 결과
4. 결론
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