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이용수
ABSTRACT
1. 서론
2. PZT 엑추에이터 설계 및 제작
3. 실험 결과
4. 결론
후기
참고문헌
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수평방향 변위증폭을 위해 U-형상의 PZT 스트립과 지렛대 구조를 이용한 압전구동형 엑츄에이터의 설계, 제작 및 실험
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2004 .05
MEMS 센서 응용을 위한 PZT Actuator 제작에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2010 .11
PZT 액튜에이터 제어기의 성능측정 및 특성해석
한국자동차공학회 춘 추계 학술대회 논문집
2003 .05
Micro Valve with Functional Actuator
대한기계학회 춘추학술대회
2004 .11
측방향구동 압전 MEMS 엑추에이터의 설계에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2003 .10
PZT Actuator Scan을 위한 제어시스템개발
한국지능시스템학회 학술발표 논문집
2012 .04
PZT actuator를 이용한 외팔보의 능동진동제어
한국소음진동공학회 학술대회논문집
2008 .11
PZT를 이용한 광 정보저장기기용 액추에이터의 트랙 추적제어
한국소음진동공학회논문집
2004 .05
PZT의 변위특성을 이용한 정밀스테이지의 개발
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2007 .11
PZT 액추에이터를 이용한 위치결정용 정밀스테이지의 개발
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2007 .06
PZT 캔틸레버 구동기와 마이크로 시소구조를 적용한 저전압 SPDT MEMS RF 스위치 구현
대한전자공학회 학술대회
2005 .11
PZT-5A 탐촉자의 특성 분석
대한전기학회 학술대회 논문집
1997 .07
Sliding mode control of small form factor optical pick-up actuator using PZT
한국소음진동공학회 학술대회논문집
2003 .11
강성제어 구조물을 이용한 수평구동형 박막 PZT 엑츄에이터의 설계, 제작 및 특성평가
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2004 .10
PZT 압전소재와 MEMS기술을 이용한 마이크로소자
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2011 .11
광 융합 자기 기록용 슬림 마이크로 모듈 제작 및 PZT 구동 특성 평가
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2011 .10
적층형 압전 마이크로밸브의 압력 레귤레이팅 기술
한국동력기계공학회 학술대회 논문집
2004 .12
PZT Actuator를 이용한 진동절삭 시스템의 Tool Holder 및 Amplifier 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2010 .05
PZT를 이용한 초정밀 회전 구동기에 관한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2005 .05
마이크로 압전 엑츄에이터용 후막 PZT의 제조 및 특성
대한기계학회 기타 간행물
2002 .11
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