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이현기 (삼성전기) 조성민 (삼성전기) 경제홍 (삼성전기) 신동철 (삼성전기) 이영규 (삼성전기) 민종환 (삼성전기) 강영식 (삼성전기)
저널정보
대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 2010 대한전기학회 전기물성.응용부문회 Techno-Fair 및 추계학술대회 논문집
발행연도
2010.11
수록면
83 - 84 (2page)

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MEMS 센서 응용을 위하여 Zr/Ti=52/48 조성의 sol-gel을 Multi coating하여 2㎛ 두께 의 PZT actuator를 구현하였다. 층간 pore와 표면 crack, Haze 등이 없고, 2차상이 없는 Perovskite 상을 확인하였으며, 6inch wafer에서 두께 uniformity 5% 이하의 균일한 ... 전체 초록 보기

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