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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.23 No.8
발행연도
2006.8
수록면
54 - 63 (10page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2006

마이크로 ESPI기법에 의한 면내 변형 측정 민감도 향상
김동일 ,  허용학 ,  기창두 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2006.08 학술저널

2005

마이크로 ESPI기법에 의한 면내 변형 측정 민감도 향상
김동일 ,  허용학 ,  기창두 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2005.06 학술대회자료

초록· 키워드

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Enhancement methods of sensitivity to in-plane strain measurement by micro-ESPI(Electronic Speckle Pattern Interferometry) technique were proposed using TiN and Au thin films. Micro-tensile strain over the micro-tensile specimens, prepared in micro-scale by those films, was measured by micro-tensile loading system and micro-ESPI system developed in this study. The subsequent measurement of in-plane tensile strain in the micro-sized specimens was introduced using the micro-ESPI technique, and the micro-tensile stress-strain curves for these films were determined. To enhance the sensitivity to measurement of in-plane tensile strain, algorithms of the phase estimation by using curve fitting of inter-fringe and the discrete Fourier Transform with object-induced dynamic phase shifting were developed. Using these two algorithms, the micro-tensile strain-stress curves were generated. It is shown that the algorithms for enhancement of the sensitivity suggested in this study make the sensitivity to measurement of the in-plane tensile strain increase.
#Improvement of Sensitivity(민감도 향상) #Thin film(박막) #Micro-ESPI(마이크로-ESPI) #Object-Induced Dynamic Phase Shifting(물체-인가 동적 위상 이동)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 면내 ESPI(in-plane ESPI) 변형 측정 민감도 향상 알고리즘
3. 면내 마이크로 인장 변형률 측정
4. 결과 및 고찰
5. 결론
후기
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