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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 창립 60주년 기념 춘계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2005.5
수록면
54 - 59 (6page)

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Micro-tensile tests for Au thin films with three different thicknesses were carried out to investigate the effect of the grain size on tensile properties. Au thin films with the respective thickness of 0.18, 0.5 and 1.0 ㎛ were produced by sputtering and micro-tensile specimens 2 ㎜ long and 200 μ wide were fabricated using micro-machining process. Tensile stress-strain curves, showing elasitc-plastic behavior, were obtained using the strain measurement system, i.e. micro-ESPI system, developed in this study. From these curves, 0.2% yielding strength, tensile strength and elastic modulus, were determined. It was found that these values were dependent on the grain size of the films. Furthermore, in this study, the effect of the width of the specimens was also investigated.
#Gold thin film(금 박막) #Micro-ESPI(마이크로 ESPI) #micro-tensile test(마이크로인장시험) #Tensile Strength(인장강도) #Size Effect(크기영향)

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험 방법
3. 결과 및 토의
4. 요약 및 결론
후기
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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-550-016051594