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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2007년도 춘계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2007.5
수록면
84 - 88 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2007

다중스케일 모델링을 이용한 나노임프린트 리소그라피 전산모사
권성진 ,  강지원 ,  김성엽 외 3명 대한기계학회 춘추학술대회 2007.10 학술대회자료
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권성진 ,  이영민 ,  임세영 대한기계학회 춘추학술대회 2007.05 학술대회자료

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Temperature is an essential process variable in nanoimprint lithography(NIL) where the temperature varies between room temperature and above the glass transition temperature. To simulate NIL process, we employ both the Nose-Poincare method for temperature controlled molecular dynamics(MD) and force field for polymer material i.e. polymethyl methacrylate(PMMA), which is most widely selected as NIL resist. Nose-Poincare method, which convinces the conservation of Hamiltonian structure and time-reversal symmetry, overcomes the drawbacks inherent in the conventional methods such as Nose thermostat and Nose-Hoover thermostat. Thus, this method exhibits enhanced numerical stability even when the temperature fluctuation is large. To describe PMMA, we adopt the force field which account for bond stretch, bending, torsion, inversion, partial charge, and van der Waals energy.
#Nanoimprint lithography(나노임프린트 리소그라피) #Polymer(고분자) #Temperature controlled molecular dynamics(온도제어 분자 동역학)

목차

Abstract
1. 서론
2. Recursive Multiple Nose-Poincare Thermostat를 이용한 온도제어
3. Polymethyl methacrylate (PMMA)의 표현을 위한 force field 구현 및 NIL 공정 해석 개요
4. 결론
후기
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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-550-016783595