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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2007년도 춘계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2007.5
수록면
89 - 94 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (5)

2007

분자동역학기법을 이용한 나노 임프린트 리소그래피 공정에서의 고분자 밀도변화
우영석 ,  이우일 대한기계학회 춘추학술대회 2007.10 학술대회자료
분자동역학기법을 이용한 나노 임프린트 리소그래피 공정에서의 고분자 변형모사
우영석 ,  이우일 대한기계학회 춘추학술대회 2007.05 학술대회자료

2006

나노 임프린트 리소그래피의 분자동역학 모사
우영석 ,  이우일 대한기계학회 춘추학술대회 2006.11 학술대회자료

2003

분자동역학 모사를 이용한 탄소나노튜브내 기체유동의 확산계수 예측
우영석 ,  이우일 대한기계학회 춘추학술대회 2003.11 학술대회자료
탄소나노튜브 내 유체유동의 분자동역학 모사
우영석 ,  이우일 한국소성가공학회 학술대회 논문집 2003.10 학술대회자료

초록· 키워드

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In this study, molecular dynamics simulation of nano imprint lithography in which patterned stamp is pressed onto amorphous polyethylene(PE) surface are performed to study the behaviour of polymer. Force fields including bond, angle, torsion, and Lennard Jones potential are used to describe the inter-molecular and intra-molecular force of PE molecules and stamp, substrate. Periodic boundary condition is used in horizontal direction and canonical NVT ensemble is used to control the system temperature. As the simulation results, the behaviour of polymer is investigated during the imprinting process. The mechanism of polymer deformation is studied by means of inspecting the surface shape, volume, density, atom distribution. Deformation of the polymer resist was found for various of the stamp geometry and the alignment state of the polymer molecules.
#Nano Imprint Lithography(나노 임프린트 리소그래피) #Molecular Dynamics Simulation(분자동역학 모사)

목차

Abstract
1. 서론
2. 해석방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
후기
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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-550-016783606