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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국트라이볼로지학회 Tribology and Lubricants 한국윤활학회지 제21권 제4호
발행연도
2005.8
수록면
177 - 184 (8page)

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이 논문의 연구 히스토리 (7)

2010

분자동역학을 이용한 열나노임프린트 리소그래피 소재 및 자기조립단분자막의 표면에너지 및 점착에너지의 예측
강지훈 ,  허정철 ,  김광섭 외 1명 한국트라이볼로지학회 학술대회 2010.06 학술대회자료

2006

공정인자들이 나노임프린트 리소그래피 공정에 미치는 영향에 대한 분자동역학 연구
강지훈 ,  김광섭 ,  김경웅 Tribology and Lubricants 2006.10 학술저널
공정인자들이 나노임프린트 리소그래피 공정에 미치는 영향에 대한 분자동역학 연구
강지훈 ,  김광섭 ,  김경웅 한국트라이볼로지학회 학술대회 2006.06 학술대회자료

2005

분자 동역학을 이용한 나노임프린트 리소그래피에서의 패턴 전사에 관한 연구
강지훈 ,  김광섭 ,  김경웅 Tribology and Lubricants 2005.08 학술저널
분자 동역학을 이용한 나노임프린트 리소그래피에서의 패턴 전사에 관한 연구
강지훈 ,  김광섭 ,  김경웅 한국트라이볼로지학회 학술대회 2005.06 학술대회자료
나노임프린트 리소그래피에서의 폴리머 레지스트의 변형에 관한 분자 동역학 시뮬레이션
강지훈 ,  김광섭 ,  김경웅 대한기계학회 논문집 A권 2005.06 학술저널

2004

나노임프린트 리소그래피에서의 폴리머 레지스트의 변형에 관한 분자 동역학 시뮬레이션
강지훈 ,  김광섭 ,  김경웅 대한기계학회 춘추학술대회 2004.11 학술대회자료

초록· 키워드

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The molecular dynamics simulation of nanoimprint lithography (NIL) using SiO₂stamp and amorphous poly-(methylmethacrylate) (PMMA) film is performed to study pattern transfer in NIL. Force fields including bond, angle, torsion, van der Waals and electrostatic potential are used to describe the intermolecular and intramolecular force of PMMA molecules and SiO₂stamp. Nose-Hoover thermostat is used to control the system temperature and cell multipole method is adopted to treat long range interactions. The deformation of PMMA film is observed during pattern transfer in the NIL process. For the detail analysis of deformation characteristics, the distributions of density and stress in PMMA film are calculated. The adhesion and friction forces are obtained by dividing the PMMA film into subregions and calculating the interacting force between subregion and stamp. Their effects on the pattern transfer are also discussed as varying the indentation depth and speed.

목차

Abstract

1. 서론

2. 해석 방법

3. 결과 및 고찰

4. 결론

후기

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