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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2007년도 춘계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2007.5
수록면
95 - 100 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2013

구리 나노입자의 열소결 과정과 역학적 거동에 대한 분자동역학 전산모사
양승화 ,  김근연 ,  김원배 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2013.12 학술대회자료

2007

분자동역학 전산모사를 이용한 나노임프린트 리소그래피 공정에서의 스탬프-레지스트 간의 상호작용 및 원자분포에 관한 연구
양승화 ,  조맹효 대한기계학회 춘추학술대회 2007.05 학술대회자료

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Molecular dynamics study of thermal NIL (Nano Imprint Lithography) process is performed to examine stamp-resist interactions. A layered structure consists of Ni stamp, poly-(methylmethacrylate) thin film resist and Si substrate was constructed for isothermal ensemble simulations. Imposing confined periodicity to the layered unit-cell, sequential movement of stamp followed by NVT simulation was implemented in accordance with the real NIL process. Both vdW and electrostatic potentials were considered in all non-bond interactions and resultant interaction energy between stamp and PMMA resist was monitored during stamping and releasing procedures. As a result, the stamp-resist interaction energy shows repulsive and adhesive characteristics in indentation and release respectively and irregular atomic concentration near the patterned layer were observed. Also, the spring back and rearrangement of PMMA molecules were analyzed in releasing process.
#Molecular dynamics simulation(분자동역학 전산모사) #Nanoimprint lithography(나노임프린트 리소그래피) #Interaction energy(상호작용에너지)

목차

Abstract
1. 서론
2. 방법론
3. 전산모사 결과
4. 결론
후기
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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-550-016783611