지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2006.10
- 수록면
- 243 - 251 (9page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (7)
2006
2005
- 이 논문의 후속연구가 궁금하신가요?
- 연관 학술논문 또는 학술발표를 통해 보다 발전된 연구결과를 확인하실 수 있습니다.
- 이 논문의 연구 히스토리 확인하기
초록· 키워드
오류제보하기
Molecular dynamics simulations of nanoimprint lithography (NIL) are performed in order to investigate effects of process parameters, such as stamp shape, imprinting temperature and adhesive energy, on nanoimprint lithography process and pattern transfer. The simulation model consists of an amorphous SiO₂ stamp with line pattern, an amorphous poly-(methylmethacrylate) (PMMA) film and an Si substrate under periodic boundary condition in horizontal direction to represent a real NIL process imprinting long line patterns. The pattern transfer behavior and its related phenomena are investigated by analyzing polymer deformation characteristics, stress distribution and imprinting force. In addition, their dependency on the process parameters are also discussed by varying stamp pattern shapes, adhesive energy between stamp and polymer film, and imprinting temperature. Simulation results indicate that triangular pattern has advantages of low imprinting force, small elastic recovery after separation, and low pattern failure. Adhesive energy between surface is found to be critical to successful pattern transfer without pattern failure. Finally, high imprinting temperature above glass transition temperature reduces the imprinting force.
목차
Abstract
1. 서론
2. 해석 방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
후기
참고 문헌
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
공정인자들이 나노임프린트 리소그래피 공정에 미치는 영향에 대한 분자동역학 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2006 .06
-
Hybrid Imprint Lithography 공정을 이용한 3D 구조물 제작
대한전자공학회 학술대회
2008 .06
-
나노 임프린트 리소그래피의 분자동역학 모사
대한기계학회 춘추학술대회
2006 .11
-
분자동역학기법을 이용한 나노 임프린트 리소그래피 공정에서의 고분자 변형모사
대한기계학회 춘추학술대회
2007 .05
-
나노임프린트 리소그래피 공정에서의 폴리머 변형 해석
대한기계학회 춘추학술대회
2005 .11
-
열 나노임프린트 공정에서 가압조건이 패턴전사에 미치는 영향
반도체디스플레이기술학회지
2013 .01
-
분자동역학기법을 이용한 나노 임프린트 리소그래피 공정에서의 고분자 밀도변화
대한기계학회 춘추학술대회
2007 .10
-
Continuous R2F thermal imprinting process for large-area micro-pattern fabrication on polymer substrate
미세가공 심포지엄
2010 .04
-
Hybrid Imprint Lithography 공정을 이용한 3D 구조물 제작
대한전자공학회 학술대회
2008 .06
-
롤 임프린트 리소그래피 공정을 이용한 유연 기판 상의 마이크로 패턴 제작에 관한 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2011 .04
-
CAE를 이용한 나노 임프린팅 공정 장비의 구조 및 기구동역학 해석
대한기계학회 춘추학술대회
2006 .11
-
ZnO 나노 입자 분산 레진의 thermal imprinting 공정을 통한 기능성 패턴 제작
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2011 .12
-
나노 임프린트 리소그래피법에 의한 나노미터급 원기둥 패턴을 갖는 도광판의 제작 공정 개발
제어로봇시스템학회 논문지
2008 .04
-
박막의 두께에 따른 잔류 응력이 나노 패턴의 무너짐에 미치는 영향에 대한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2013 .12
-
고온 나노임프린팅 장비응용 나노스템프 복제공정
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2007 .05
-
Roll to roll imprint 공정에서 나노-마이크로 패턴의 전사율 확인
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2019 .04
-
Liquid Transfer Imprint Lithography 를 이용한 금속산화물 나노구조체 형성
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
-
Sub-50㎚급 나노임프린팅 장비기술 및 응용
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2006 .05
-
분자 동역학을 이용한 나노임프린트 리소그래피에서의 패턴 전사에 관한 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2005 .06
이 논문의 저자 정보
이 논문과 함께 이용한 논문
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-551-017600387