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논문 기본 정보

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학술저널
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저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 제22권 제7호
발행연도
2005.7
수록면
102 - 111 (10page)

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In this paper, we address a position control for a parallel stage, which is levitated and driven by electric magnetic force. This consists of a levitating object (called platen) with 4 permanent magnetic linear synchronous motors in parallel. Each motor generates vertical force for suspension against gravity and propulsion force horizontally as well. This stage can generate six degrees of freedom motion by the vertical and horizontal force. A dynamic equation of the stage system is derived based on Newton-Euler method and it's special Jacobian matrix describing a relation between the limited velocity and Cartesian velocity is done. There are proposed two control methods for positioning which are Cartesian space controller and Actuator space controller. The control performance of the Cartesian space controller is better than the Actuator space controller in task space trajectory while the Actuator space controller is simpler than the Cartesian space controller in controller realization.

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 자기부상 스테이지
3. 제어기 구성
4. 실험 결과 및 토론
5. 결론
후기
참고문헌

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