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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 제22권 제1호
발행연도
2005.1
수록면
175 - 182 (8page)

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A laser beam expanding technique is employed to fabricate precise nano-patterns in a nano-replication printing (nRP) process. In the nRP process, some patterns can be fabricated in the range of several microns inside on a polymerizable resin by using a volume-pixel (voxel) matrix that is transformed from a two-tone bitmap figure file. The liquid monomers are polymerized by means of a two-photon-absorption (TPA) phenomenon that is induced by a femtosecond (fs)-pulse laser. The voxels are generated consecutively to merge into adjoining voxels in the process of fabricating a pattern. The resolution of a fabricated pattern can be obtained under the diffraction limit of a laser beam by the two-photon absorbed polymerization (TPP). In this work, a beam-expanding technique has been applied to enlarge a working area and to fabricate precise patterns. Through this work, a working area is expanded by the technique as much as 2.5 times compared with a case of without a beam expanding technique, and precision of outside patterns is improved.
#Nano Replication Printing Process(nRP)(나노 복화공정) #Two-photon absorbed Polymerization(이광자 흡수 고화) #Femtosecond Laser(펨토초 레이저) #Beam Expansion(빔확대)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 나노 복화(複畵) 공정
3. 정밀도 향상을 위한 빔 확대 방법
4. 패턴 제작
5. 결론
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