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대한기계학회 대한기계학회 논문집 A권 대한기계학회논문집 A권 제28권 제7호
발행연도
2004.7
수록면
999 - 1,005 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2004

나노 복화(複畵)공정을 이용한 PDMS 스탬프 제작
박상후 ,  임태우 ,  양동열 외 1명 대한기계학회 논문집 A권 2004.07 학술저널
나노 복화(複畵)공정의 역방향 적층법을 이용한 직접적 나노패턴 생성에 관한 연구
박상후 ,  임태우 ,  양동열 외 1명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2004.06 학술저널
나노 복화(複畵)공정의 단면 적층법을 이용한 3차원 형상 제작에 관한 기초연구
박상후 ,  임태우 ,  양동열 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2004.05 학술대회자료

초록· 키워드

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A new stamp fabrication technique for the soft lithography has been developed in the range of several microns by means of a nano-replication printing (nRP) process. In the nRP process, a figure or a pattern can be replicated directly from a two-tone bitmap figure with nano-scale details. A photopolymerizable resin was polymerized by the two-photon absorption which was induced by a femtosecond laser. After the polymerization of master patterns, a gold metal layer (about 30 nm thickness) was deposited on the fabricated master patterns for the purpose of preventing a join between the patterns and the POMS, then the master patterns were transferred in order to fabricate a stamp by using the POMS (poly-dimethylsiloxane). In the transferring process, a few of gold particles, which were isolated from the master patterns, remained on the POMS stamp. A gold selective etchant, the potassium iodine (KI) was employed to remove the needless gold particles without any damage to the POMS stamp. Through this work, the effectivcness of the nRP process with the POMS molding was evaluated to make the POMS stamp with the resolution of around 200 nm.

목차

Abstract

1. 서론

2. 나노 복화공정

3. 직접적 패턴 제작

4. PDMS 스탬프 제작

5. 결론

후기

참고문헌

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