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이용수
ABSTRACT
1. 서론
2. 실험
3. 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌
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화학 기계적 연마 시 발생하는 온도특성과 마찰력에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2001 .10
마찰력 모니터링 기반 지능형 CMP 시스템 개발
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2008 .11
마찰력 측정을 통한 CMP 공정의 모니터링
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2004 .10
화학기계적 연마(CMP) 공정과 관련연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2014 .10
CMP 공정에서 접촉계면 특성변화에 따른 마찰력 신호 분석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2004 .05
CMP 공정에서 발생하는 연마온도 분포에 관한 연구
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2003 .03
회전형 CMP장비의 속도 및 마찰력 분포 해석
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2003 .05
화학기계적연마(CMP) 컨디셔닝에 관한 연구
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
1999 .05
기계-화학적 연마가공에서의 연마입자-웨이퍼표면간 접촉강성 및 마찰력연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2008 .11
CMP의 화학 기계적 균형
기계저널
2016 .07
사파이어 CMP에서의 연마모델에 관한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2017 .11
연마입자 크기가 CMP 공정의 연마균일도에 미치는 영향
한국트라이볼로지학회 학술대회
2004 .11
CMP 연마패드 형상 제어 및 실험적 검증
대한기계학회 춘추학술대회
2019 .11
화학기계적 연마(CMP) 공정에서의 트라이볼로지 연구 동향
Tribology and Lubricants
2018 .06
CU CMP에서 화학 반응층의 기계적 특성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2003 .10
화학기계적연마(CMP) 공정에서의 환경부하 평가
한국트라이볼로지학회 학술대회
2012 .10
ITO 박막의 연마특성과 마찰력 신호와의 상관관계
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2006 .05
CMP개론 및 현황
한국재료학회 학술발표대회
2007 .01
산화막 CMP에서 세리아 연마입자의 마찰특성
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2008 .05
CMP 공정에서 마찰에너지가 연마결과에 미치는 영향
대한기계학회 논문집 A권
2004 .11
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