사파이어 CMP에서의 연마모델에 관한 연구

이현섭; 이다솔

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이현섭 (동명대학교) 이다솔 (부산대학교)

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2017년도 학술대회

발행연도: 2017.11

수록면: 3,088 - 3,089 (2page)

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#Chemical mechanical polishing(화학기계적 연마) #Sapphire(사파이어) #CMP model(CMP모델)

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