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CMP 장비의 초 고압(800g/cm²) 조건에서 구조 특성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
CMP 공정에서 발생하는 연마온도 분포에 관한 연구
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2003 .03
CMP특성과 온도의 상호관계에 관한 연구
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2002 .10
화학기계적 연마(CMP) 공정과 관련연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2014 .10
고분자 결함 구조에 따른 CMP pad의 표면 형상 및 CMP 성능 변화 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2019 .04
CMP공정에서의 종점 검출 기술 현황
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1998 .05
패턴 밀도에 따른 CMP 공정에 따른 연구
대한기계학회 기타 간행물
2002 .11
CMP 공정에서 마찰에너지가 연마결과에 미치는 영향
대한기계학회 논문집 A권
2004 .11
Oxide CMP 공정의 최적화에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1998 .06
Oxide CMP 공정의 최적화에 관한 연구 ( Optimizations for Oxide CMP Processes )
대한전자공학회 학술대회
1998 .07
초음파를 이용한 Metal CMP의 Conditioning에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1998 .11
사파이어 CMP에서의 연마모델에 관한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2017 .11
CMP 공정의 설비요소가 공정 결함에 미치는 영향
전기학회논문지 C
2002 .05
Development of Multiple CMP Monitoring Systemfor Consumable Designs
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2007 .01
연마입자 크기가 CMP 공정의 연마균일도에 미치는 영향
한국트라이볼로지학회 학술대회
2004 .11
화학기계적연마(CMP) 컨디셔닝에 관한 연구
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
1999 .05
CMP 를 적용한 패키지 기판의 다층배선 공정개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
화학기계적연마(CMP) 공정에서의 환경부하 평가
한국트라이볼로지학회 학술대회
2012 .10
CMP 공정 후의 오염 제어
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1998 .05
상대속도를 고려한 CMP 공정에서의 연마제거율 모델
소성·가공
2004 .04
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