층간절연막으로서 저유전박막 폴리이미드와 금속의 전기적 특성

이문근 ,  이곤재 ,  최덕균

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1998 .11

DHF를 적용한 웨이퍼의 층간 절연막 평탄화에 관한 연구

김도윤 ,  김형재 ,  정해도 외 1명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2002 .05

패턴에 따른 층간절연막 CMP의 모델링에 관한 연구

홍기식 ,  정해도

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2001 .05

층간절연막적용을 위한 Polyimide의 화학기계적 평탄화 공정

김형균 ,  이정용 ,  이상호 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

습식 에칭을 이용한 태양전지용 Multi-Si 웨이퍼 텍스쳐링 기술에 대한 연구

안소희 ,  김기정 ,  문지훈 외 3명

대한기계학회 춘추학술대회

2014 .04

0.18μm 세대 이후의 층간 절연 물질 ( ILD ) 연구 동향

이석형 ,  유재윤 ,  양성훈 외 1명

전자공학회지

1997 .06

고정입자 패드를 이용한 층간 절연막 CMP에 관한 연구

박재홍 ,  김호윤 ,  정해도

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2001 .05

고밀도 플라즈마를 이용한 절연막 식각

김유창 ,  정진기 ,  설여송 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

박형 웨이퍼에 적용가능한 건식 및 습식 식각에 대한 연구

박정은 ,  홍혜권 ,  조영호 외 2명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2018 .11

습식 에칭 공정에서의 안전관리 자동화에 관한 연구

조재훈 ,  손영득 ,  위상봉

대한전기학회 학술대회 논문집

2017 .04

습식 식각에 의한 실리콘 웨이퍼의 표면 및 전기적 특성변화(1) - 불산 농도에 따른 표면형상 변화 -

김준우 ,  강동수 ,  이현용 외 3명

한국재료학회지

2013 .01

박막 트랜지스터용 절연막 합성 및 특성연구

이진호 ,  김홍두 ,  유어단

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2010 .10

$SiO_2$막의 습식식각 방법별 균일도 비교

안영기 ,  김현종 ,  성보람찬 외 2명

반도체및디스플레이장비학회지

2006 .01

ELECTROMIGRATION STUDY OF Al THIN FILMS DEPOSITED ON LOW DIELECTRIC POLYIMIDE AND $SiO_2$ ILD

Eun ,  B.S. ,  Kim 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Process Design and Analysis for RF MEMS Switch with Uniform Wafer-level Pull-in Voltage using Silicon Wet Etching

Jeong-Ki Hwang ,  Yong-Seok Lee ,  Sung-Hyun Hwang 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2012 .11

습식 에칭 공정에서의 과산화수소 이상반응 대책에 관한 연구

유흥렬 ,  강기호 ,  위상봉 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2017 .04

층간절연막 화확기계연마에서 입자코팅패드에 관한 연구

김호윤 ,  박재홍 ,  정해도 외 3명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2001 .11