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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 창립 60주년 기념 추계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2005.11
수록면
1,481 - 1,486 (6page)

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This paper presents a novel experimental method to investigate the strength of material, Mo, which is commonly used as an electrode in RF(radio frequency) microelectromechanical systems(MEMS) filter. An experimental method was developed to save time of set-up of specimen and easy to align. A non-contact position measuring system based on the principle of capacitance micrometry with 0.1nm resolution for displacement measurement was used to measure total displacement. And new specimen was designed and fabricated to easily manipulate, align and grip a thin-film for a tensile test. FE analysis for specimen was performed to calculate stress-strain curve from the measured load-displacement curve. The 2 kinds of widths were tested to investigate a size effect. The thickness of the thin film is 1.0μm and 2 kinds of width were tested to get mechanical properties.
#Thin Film(박막) #Mechanical Property(기계적물성) #RF EMS Filter(알에프멤스필터)

목차

Abstract
1. 서론
2. 마이크로 시편의 형상 및 종류
3. 시험
4. 유한 요소 해석
5. 시험 결과
6. 결론
후기
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