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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
백동천 (한국과학기술원 기계공학과) 박태상 (한국과학기술원 기계공학과) 이순복 (한국과학기술원 기계공학과) 이낙규 (한국생산기술연구원)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 반도체및디스플레이장비학회지 반도체및디스플레이장비학회지 제3권 제2호
발행연도
2004.1
수록면
23 - 26 (4page)

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Thin film is one of the most general structures used in micro-electro-mechanical systems (MEMS). To measure the mechanical properties of SU-8 film, tensile testing was adopted which offers not only elastic modulus but also yield strength and plastic deformation by load-displacement curve. Tensile testing system was constructed with linear guided servo motor for actuation, load cell for force measurement and dual microscope for strain measurement.
#SU-8 #Mechanical Properties #Tensile Testing #MEMS #Dual Microscope

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