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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 창립 60주년 기념 춘계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2005.5
수록면
28 - 33 (6page)

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This paper presents a novel experimental method to investigate the strength of material, Al-3 Ti, which is commonly used in RF(radio frequency) microelectromechanical systems(MEMS) switch. The experimental method involves the development of a new tensile loading system. A non-contact position measuring system based on the principle of capacitance micrometry with 0.1㎚ resolution for displacement measurement. And new specimen was designed and fabricated to easily manipulate, align and grip a thin-film for a tensile test. The material used in this study was Al-3 Ti thin film, which was used in RF switch. The thickness of the thin film is 1.1 m and 3 kinds of width were tested to get mechanical properties.
#Thin Film(박막) #Mechanical Property(기계적물성) #RF MEMS switch(알에프스위치)

목차

Abstract
1. 서론
2. 마이크로 시편의 구조와 제작방법
3. 시험 결과
4. 시험 결과
5. 결론
후기
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