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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2004도 춘계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2004.4
수록면
258 - 263 (6page)

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2007

박막의 기계적 물성을 위한 새로운 인장 시편 및 인장 시험기
박준협 ,  김윤재 대한기계학회 논문집 A권 2007.06 학술저널

2004

MEMS 소재의 기계적 특성 평가를 위한 인장형 시편 및 시험기 제작
박준협 ,  김정엽 ,  이창승 외 2명 대한기계학회 춘추학술대회 2004.04 학술대회자료

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Mechanical property evaluation of micrometer-sized structures is necessary to help design reliable microelectromechanical systems(MEMS) devices. Most material properties are known to exhibit dependence on specimen size and such properties of microscale structures are not well characterized. This paper describes techniques developed for tensile testing of materials used in MEMS. Epi-polycrystalline silicon is currently the most widely used material, and its tensile strength has been measured as 1.52GPa. We have developed an uniaxial testing machine for testing microscale specimen using electro-magnetic actuator. The field magnet and the moving coil taken from an audio-speaker were utilized as the components of the actuator. Structure of specimen was designed and manufactured for easy handling and alignment. In addition to the static tensile tests, new techniques and procedures for measuring strength are described.
#MEMS(멤스) #Mechanical Property(기계적 물성) #Specimen(시편) #Test Machine(시험기)

목차

Abstract
1. 서론
2. 시편 설계와 제작
3. 시험기 제작
4. MEMS 재료의 인장 시험 및 피로시험
5. 결론
참고문헌

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