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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 창립 60주년 기념 춘계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2005.5
수록면
1,150 - 1,154 (5page)

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A systemic design procedure of general VCM (Voice Coil Motor) to fine z-axis AFM (Atomic Force Microscopy) actuator is introduced for fast and precision actuation. As a fine z-axis actuator, PZT and flexure hinge mechanism has been widely used for AFMs. However, PZT actuator has disadvantages of hysteresis, creep, and short working distance. Therefore, in this research, the VCM and flexure hinge mechanism is selected to be free from the weakness of the PZT actuator. In design procedure, design parameters are selected based on the dynamic model of VCM and flexure hinge, and design process is proceed in point of fast and precision actuation. To verify the performance of the designed actuator, frequency response of the actuator and contact type AFM image of standard grid sample are performed.
#AFM(원자력 현미경) #VCM(보이스 코일 모터) #Flexure hinge(유연 힌지)

목차

Abstract
1. 서론
2. 구조적 시스템 설계 과정
3. 실험 결과
4. 결론
참고문헌

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